MgF2 substrat
Beskrivelse
MgF2 brukes som linse, prisme og vindu for bølgelengder fra 110nm til 7,5μm.Det er et meget passende materiale som vindu for ArF Excimer Laser, på grunn av dens gode overføring ved 193nm.Den er også effektiv som en optisk polarisering i det ultrafiolette området.
Egenskaper
| Tetthet (g/cm3） | 3.18 |
| Smeltepunkt (℃) | 1255 |
| Termisk ledningsevne | 0,3 Wm-1K-1 ved 300K |
| Termisk ekspansjon | 13,7 x 10-6 /℃ parallell c-akse 8,9 x 10-6 /℃ vinkelrett c-akse |
| Knoop hardhet | 415 med 100 g innrykk (kg/mm2) |
| Spesifikk varmekapasitet | 1003 J/(kg.k) |
| Dielektrisk konstant | 1,87 ved 1MHz parallell c-akse 1,45 ved 1MHz vinkelrett c-akse |
| Youngs Modulus (E) | 138,5 GPa |
| Skjærmodul (G) | 54,66 GPa |
| Bulkmodul (K) | 101,32 GPa |
| Elastisk koeffisient | Cll = 164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Tilsynelatende elastisk grense | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Poisson-forhold | 0,276 |
MgF2 Substrat Definisjon
MgF2-substrat refererer til et substrat laget av magnesiumfluorid (MgF2) krystallmateriale.MgF2 er en uorganisk forbindelse som består av magnesium (Mg) og fluor (F) elementer.
MgF2-substrater har flere bemerkelsesverdige egenskaper som gjør dem populære i en rekke bruksområder, spesielt innen optikk og tynnfilmavsetning:
1. Høy gjennomsiktighet: MgF2 har utmerket gjennomsiktighet i de ultrafiolette (UV), synlige og infrarøde (IR) områdene i det elektromagnetiske spekteret.Den har et bredt overføringsområde fra ultrafiolett ved omtrent 115 nm til infrarødt ved omtrent 7 500 nm.
2. Lav brytningsindeks: MgF2 har en relativt lav brytningsindeks, noe som gjør den til et ideelt materiale for AR-belegg og optikk, da det minimerer uønskede refleksjoner og forbedrer lystransmisjonen.
3. Lav absorpsjon: MgF2 viser lav absorpsjon i de ultrafiolette og synlige spektralområdene.Denne egenskapen gjør den nyttig i applikasjoner som krever høy optisk klarhet, som linser, prismer og vinduer for ultrafiolette eller synlige stråler.
4. Kjemisk stabilitet: MgF2 er kjemisk stabil, motstandsdyktig mot et bredt spekter av kjemikalier, og opprettholder sine optiske og fysiske egenskaper under et bredt spekter av miljøforhold.
5. Termisk stabilitet: MgF2 har et høyt smeltepunkt og tåler høye arbeidstemperaturer uten vesentlig nedbrytning.
MgF2-substrater brukes ofte i optiske belegg, tynnfilmavsetningsprosesser og optiske vinduer eller linser i forskjellige enheter og systemer.De kan også tjene som bufferlag eller maler for vekst av andre tynne filmer, for eksempel halvledermaterialer eller metalliske belegg.
Disse substratene produseres vanligvis ved bruk av teknikker som dampavsetning eller fysiske damptransportmetoder, hvor MgF2-materiale avsettes på et passende substratmateriale eller dyrkes som en enkeltkrystall.Avhengig av applikasjonskravene kan underlag være i form av wafere, plater eller tilpassede former.
